
薄片电阻(Sheet Resistance)是衡量二维导电材料导电性能的重要参数,通常用符号 Rs 表示,单位为欧姆每方(Ω/□)。它不依赖于样品的几何尺寸,而是与材料的电阻率和厚度直接相关。对于薄膜材料而言,薄片电阻是评估其导电能力的关键指标。
根据物理公式:
Rs = ρ / t
其中,ρ 为材料的体电阻率(单位:Ω·cm),t 为薄膜厚度(单位:cm)。该公式表明:在体电阻率不变的前提下,薄膜越厚,其薄片电阻越小;反之,薄膜越薄,薄片电阻越大。
在柔性电子器件中,如触摸屏、OLED显示器和太阳能电池,透明导电氧化物(如ITO、AZO)薄膜的薄片电阻需控制在10–100 Ω/□范围内。通过精确调控沉积温度、氧气比例和厚度,可实现高透光率与低电阻的平衡。
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